Сухой вакуумный насос с водяным охлаждением 200 м3/ч,≤ 0,5 Па,1.9кВт, GRM201

БаосиводоохлаждаемыеСухой вакуумный насос GRM201,200 м3/ч, ≤ 0,5 Па,10,9 кВт

Спецификации

• Низкое энергопотребление,
• Высокая скорость перекачки,
• Высокая способность удаления пыли,
• Способность транспортировать легко конденсируемые процессовые газы.

Устойчивая скорость перекачки делает его подходящим для процессов с большим объемом выхлопных газов, обеспечивая высокую надежность и низкие эксплуатационные и технические затраты.и требовательных процессов, таких как PECVD, MOCVD и SiC-CVD в таких отраслях, как фотоэлектротехника и полупроводники.
 

Характеристики продукта

• Использует постоянный магнит синхронный двигатель для снижения энергопотребления.
• Усовершенствованная структура ротора повышает способность насоса удалять пыль.
• Нечувствительны к пыли и водяным парам в закачиваемом газе;
• Компактная структура, небольшой общий размер и высокая эффективность системы;
• Комплексные функции защиты и сильная самоприспособность;
• Низкая вибрация и шум во время работы; передовая система уплотнения губ и лабиринта, в сочетании с очисткой азота, эффективно обеспечивает безмасляную насосную камеру,улучшение чистоты вакуума в процессной камере.
• Функции дистанционного управления и мониторинга возможны через интерфейс ввода/вывода и интерфейс RS-485 (протокол Modbus).

Технический параметр

Кривая перекачки

Рисунок

Применение:

Он подходит для чистых, умеренных и требовательных процессов, таких как PECVD, MOCVD и SiC-CVD в таких отраслях, как фотоэлектротехника и полупроводники.