Домой > продукты >

GRM1201 Многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута, 1200 м³/ч, безмасляный, для полупроводников PECVD MOCVD

Name: GRM1201 Многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута, 1200 м³/ч, безмасляный, для полупроводников PECVD MOCVD
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

Детали продукта:

Место происхождения:	Китай
Фирменное наименование:	Baosi
Сертификация:	CE
Номер модели:	GRM1201

Детальная информация

Место происхождения:

Китай

Фирменное наименование:

Baosi

Сертификация:

Номер модели:

GRM1201

Скорость откачки:

1200 м3/ч

Предельное давление:

≤0,15 Па

Мощность двигателя:

1,9+1,9 кВт

Напряжение:

380 В/3 фазы

Входное отверстие:

ISO160

Выход:

КФ25

Шум:

≤63 дБ(А)

Масса:

260 кг

Размеры:

865×344×751 мм

Охлаждающая вода:

0,1-0,6 МПа, ≥4 л/мин

Продувка N2:

0,2-0,6 МПа, 12-50 л/мин.

Выделить:

High Light

Выделить:

Высокоскоростной вакуумный насос Рутса

сухой вакуумный насос 1200 м3ч

технологический вакуум PECVD MOCVD

Информация о торговле

Количество мин заказа:

1 комплект

Цена:

USD 8500-12500/Set

Упаковывая детали:

Экспортная стандартная деревянная упаковка

Время доставки:

15-30 рабочих дней

Условия оплаты:

Т/Т, Л/К

Поставка способности:

50 комплектов/месяц

Описание продукта

GRM1201 Многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута 1200 м³/ч Безмасляный высокоскоростной вакуумный насос для полупроводников PECVD MOCVD

Многоступенчатый сухой вакуумный насос GRM1201 — высокоскоростное решение производительностью 1200 м³/ч

GRM1201 — это высокоскоростной многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута, обеспечивающий скорость откачки 1200 м³/ч с предельным давлением ≤0,15 Па. Он имеет ту же компактную платформу, что и GRM601 (865 * 344 * 751 мм, 260 кг), но с входным отверстием ISO160 для более высокой производительности. Он превосходно справляется с PECVD, MOCVD и требовательными полупроводниковыми чистыми и средними процессами. приложения.

Ключевые особенности

Высокоскоростное многоступенчатое укоренение:1200 м³/ч при низком энергопотреблении
Двойная эффективность двигателя:Синхронные двигатели с постоянными магнитами мощностью 1,9+1,9 кВт
Отличное предельное давление:≤0,15 Па соответствует строгим технологическим требованиям
Ультра-тихий:≤63 дБ(А) — уровень шума, соответствующий требованиям для чистых помещений
Большой вход ISO160:Обеспечивает высокую пропускную способность газа для применения в промышленных масштабах
Безмасляный чистый вакуум:Отсутствие загрязнения маслом для чувствительных полупроводниковых процессов
Превосходное удаление пыли:Усовершенствованная конструкция ротора для сред с высоким содержанием твердых частиц
Компактная платформа:Та же площадь, что и у GRM601 — простая интеграция в линию
Тройная система уплотнения:Манжетное уплотнение + лабиринт + продувка азотом гарантируют безмасляный вакуум
Интеллектуальное подключение:Ввод-вывод и RS485 (Modbus) для удаленной заводской интеграции

Технические характеристики

Модель	GRM1201
Скорость откачки	1200 м³/ч
Предельное давление (без продувки)	≤0,15 Па
Мощность двигателя	1,9 + 1,9 кВт
Напряжение	380 В (3-фазный)
Входное соединение	ISO160
Выходное соединение	КФ25
Уровень шума	≤63 дБ(А)
Масса	260 кг
Размеры (ДШВ)	865344751 мм
Давление охлаждающей воды	0,1–0,6 МПа
Расход охлаждающей воды	≥4 л/мин
N₂ Давление продувки	0,2–0,6 МПа
Продувочный поток N₂	12–50 л/мин
Рабочая температура	5–40°С; ≤90% относительной влажности

Приложения

Полупроводник: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, травление металла, травление кремния.
Фотоэлектрическая энергетика: высокопроизводительные линии по производству солнечных элементов
Литиевая батарея: сушка элементов в промышленных масштабах и обработка электролитом
Плоские дисплеи: производство OLED и LCD

Теги:

GRM1201 Многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута, 1200 м³/ч, безмасляный, для полупроводников PECVD MOCVD

High Light

Выделить:

Высокоскоростной вакуумный насос Рутса

сухой вакуумный насос 1200 м3ч

технологический вакуум PECVD MOCVD

турбомолекулярный насос,

Высоковакуумный насос,

Высокоскоростной вакуумный насос Рутса

Вакуумный насос сухого типа с водяным охлаждением 1200 м³/ч, ≤0,15 Па, 1,9 кВт, GRM1201

Сухой вакуумный насос с водяным охлаждением 200 м3/ч,≤ 0,5 Па,1.9кВт, GRM201

Сухой вакуумный насос с водяным охлаждением 600 м3/ч,≤ 0,15 Па,1.9кВт, GRM601