GRH1202 Сухой вакуумный насос 1200 м3/ч Безмасляный промышленный вакуумный насос для полупроводниковых процессов СВД

GRH1202 Вакуумный насос с сухими кулачками — безмасляное промышленное решение производительностью 1200 м³/ч

GRH1202 — это высокопроизводительный вакуумный насос с сухими кулачками серии GRH, предназначенный для сложных процессов производства полупроводников, фотоэлектрических элементов и литиевых батарей. Благодаря скорости откачки 1200 м³/ч и предельному давлению ≤0,5 Па он обеспечивает надежный безмасляный вакуум без риска загрязнения.

Ключевые особенности

• Безмасляный когтевой механизм:В камере насоса нет ни масла, ни рабочей среды, что обеспечивает чистый вакуум, подходящий для чувствительных процессов.
• Синхронный двигатель с постоянными магнитами:Обеспечивает более низкое энергопотребление по сравнению с обычными двигателями.
• Усовершенствованная конструкция ротора:Улучшенные возможности обработки частиц пыли в суровых технологических условиях
• Устойчивость к пыли и пару:Нечувствителен к пыли и водяному пару в перекачиваемых газах.
• Компактный размер:Компактный дизайн с высокой системной интеграцией (821*420*791 мм)
• Комплексная защита:Полные функции защиты с сильными возможностями самоадаптации
• Низкая вибрация и шум:≤70 дБ(А) во время работы при предельном давлении
• Расширенное уплотнение:Манжетное и лабиринтное уплотнение в сочетании с продувкой азотом предотвращают загрязнение масла.
• Пульт дистанционного управления:Интерфейс ввода-вывода и RS485 (протокол Modbus) для удаленного мониторинга и управления.

Технические характеристики

Приложения

• Полупроводники: травление, ионная имплантация, CVD, ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD.
• Фотоэлектрическая энергетика: печи для выращивания кристаллов, производство солнечных элементов.
• Литиевая батарея: вакуумная сушка элемента, заполнение электролитом, дегазация.