GRH6002 Сухой вакуумный насос 6000 м3/ч Ультравысокопроизводительный вакуумный насос без масла для полупроводниковых процессов

GRH6002 Вакуумный насос с сухими кулачками — решение сверхвысокой производительности 6000 м³/ч

GRH6001 — флагманская модель серии GRH, обеспечивающая впечатляющую скорость перекачки 6000 м³/ч при предельном давлении ≤0,5 Па. Благодаря впускному отверстию ISO250, конфигурации с двумя двигателями мощностью 11+7,5 кВт и прочной промышленной конструкцией весом 846 кг, она разработана для самых требовательных крупных предприятий по производству полупроводников, фотоэлектрических элементов и литиевых батарей.

Ключевые особенности

• Сверхвысокая емкость:Скорость перекачки 6000 м³/ч — самая мощная модель серии GRH.
• Безмасляная технология захвата:Отсутствие риска загрязнения маслом для чувствительных полупроводниковых процессов.
• Двойная моторная система:Синхронные двигатели с постоянными магнитами мощностью 11+7,5 кВт
• ISO250 Большой вход:Справляется с большими объемами газовых потоков на крупномасштабных производственных линиях.
• Превосходное удаление пыли:Усовершенствованная конструкция кулачкового ротора для суровых условий эксплуатации
• Промышленная сборка:Прочная конструкция весом 846 кг и занимаемой площадью 1076*516*988 мм.
• Низкий уровень шума:≤70 дБ(А), несмотря на высокую производительность накачки
• Расширенное уплотнение:Трехслойная защита: манжетное уплотнение + лабиринт + продувка азотом.
• Удаленный интеллект:Ввод-вывод + RS485 (Modbus) для полной заводской интеграции

Технические характеристики

Приложения

• Крупномасштабные полупроводники: травление в больших объемах, ионная имплантация, процессы CVD.
• Фотоэлектрические мегафабрики: выращивание кристаллов и производство ячеек в больших масштабах
• Гигафабрики по производству литиевых батарей: сушка элементов, заполнение электролитом, дегазация
• Производство плоских дисплеев: производственные линии LCD, LED, OLED