GRM602 Многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута, 600 м³/ч, безмасляный вакуумный насос средней производительности для полупроводниковых процессов

GRM602 Многоступенчатый вакуумный насос для сухих корней 600 м3/ч Решение средней мощности

GRM601 представляет собой многоступенчатый вакуумный насос для сухих корней средней мощности, обеспечивающий скорость перекачки 600 м3/ч с внушительным конечным давлением ≤ 0,15 Pa.Синхронные двигатели с постоянным магнитом мощностью 9 кВт обеспечивают надежный вакуум без масла для полупроводников, фотоэлектрические и литийные батареи.

Ключевые особенности

• Многоступенчатый дизайн корней:Высокая скорость насоса при низком расходе энергии
• Конфигурация с двумя двигателями:1.9+1.9 кВт для сбалансированной, эффективной работы
• Ультранизкое давление:≤ 0,15 Pa для требований требовательных процессов
• Ультратихо:≤ 63 dB (A) идеально подходит для чистых помещений
• Механизм без масла:Никакое загрязнение маслом для чувствительных процессов
• Улучшенная обработка частиц:Усовершенствованная структура ротора для пыльных процессов
• Компактная интеграция:865 * 344 * 751 мм, 260 кг
• Нечувствительны к пыли и парам:Надежная с побочными продуктами процесса и влагой
• Усовершенствованное уплотнение:Печать для губ + лабиринт + защита от вычистки азота
• Удалённая разведка:I/O и RS485 (Modbus) для автоматизации заводов

Технические спецификации

Заявления

• Полупроводники: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
• Фотоэлектроэнергетика: рост кристаллов, производство солнечных батарей
• Литийная батарея: сушка ячеек, заправка электролитами, обезгазирование
• Плоский дисплей: производственные процессы светодиодных и ЖК-дисплеев