GRM201 Многоступенчатый сухой вакуумный насос 200 м3/ч Нефтяной компактный вакуумный насос для очистки полупроводников

Многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута GRM201 — компактное безмасляное решение производительностью 200 м³/ч

GRM201 — это компактный многоступенчатый сухой вакуумный насос Рута, обеспечивающий скорость откачки 200 м³/ч и сверхтихую работу при уровне шума ≤63 дБ(А). Его безмасляная многоступенчатая конструкция корней делает его идеальным для чистых и средних полупроводниковых процессов, фотоэлектрического производства и линий по производству литиевых батарей, которые требуют вакуума без загрязнений и минимальной занимаемой площади.

Ключевые особенности

• Многоэтапное проектирование корней:Низкое энергопотребление при высокой эффективности откачки
• Ультра-тихая работа:≤63 дБ(А) — самый тихий в своем классе
• Безмасляный механизм:В камере насоса абсолютно нет масла, что обеспечивает совместимость с чистым технологическим процессом.
• Синхронный двигатель с постоянными магнитами:1,9 кВт с превосходной энергоэффективностью
• Превосходное удаление пыли:Усовершенствованная конструкция ротора для улучшенного выброса частиц
• Компактный размер:Всего 741*344*466 мм, 150 кг — легко интегрируется
• Устойчивость к пыли и пару:Нечувствительность к побочным продуктам обработки и влаге.
• Полная защита:Комплексные функции безопасности с адаптивными возможностями
• Умное управление:Ввод-вывод и RS485 (протокол Modbus) для удаленного мониторинга
• Тройное уплотнение:Манжетное уплотнение + лабиринтное уплотнение + продувка азотом для гарантированного безмасляного вакуума

Технические характеристики

Приложения

• Процессы очистки/среды полупроводников: ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
• Фотоэлектрическая энергетика: печи для выращивания кристаллов, производство солнечных элементов.
• Литиевая батарея: вакуумная сушка элемента, заполнение электролитом, дегазация.
• Научно-исследовательские лаборатории: вакуумные системы для университетских и промышленных исследований.