logo
Домой > продукты >
сухой вакуумный насос
>
GRH3001 Сухой вакуумный насос 3000 м3/ч без масла для полупроводникового процесса

GRH3001 Сухой вакуумный насос 3000 м3/ч без масла для полупроводникового процесса

Детали продукта:
Место происхождения: Китай
Фирменное наименование: Baosi
Сертификация: CE
Номер модели: ГРХ3001
Детальная информация
Место происхождения:
Китай
Фирменное наименование:
Baosi
Сертификация:
CE
Номер модели:
ГРХ3001
Скорость откачки:
³ /h 3000 m
Предельное давление:
≤0,5 Па
Мощность двигателя:
11+7,5 кВт
Напряжение:
380 В/3 фазы
Входное отверстие:
ISO160
Выход:
КФ40
Шум:
≤ 70 DB ((A)
Масса:
770 кг
Размеры:
922×516×988 мм
Охлаждающая вода:
0,1-0,6 МПа, 11 л/мин.
Продувка N2:
0,2-0,6 МПа, 43/97/123 л/мин.
Выделить:

High Light

Выделить:

высокопроизводительный сухой вакуумный насос

,

3000 м3ч вакуумный насос

,

промышленный полупроводниковый вакуумный насос

Информация о торговле
Количество мин заказа:
1 комплект
Цена:
USD 12800-18500/Set
Упаковывая детали:
Экспортная стандартная деревянная упаковка
Время доставки:
20-35 рабочих дней
Условия оплаты:
Т/Т, Л/К
Поставка способности:
30 комплектов/месяц
Описание продукта
GRH3001 Сухой вакуумный насос 3000 м3/ч Высокопроизводительный вакуумный насос без масла для полупроводниковых промышленных процессов
GRH3001 Сухой вакуумный насос с когтями 3000 м3/ч Высокопроизводительное раствор без масла

GRH3001 представляет собой высокопроизводительный вакуумный насос с сухими когтями, обеспечивающий скорость откачки 3000 м3/ч при максимальном давлении ≤0,5 Pa. С мощной конфигурацией двойного двигателя 11+7,5 kW,Он справляется с самыми сложными полупроводниками, фотоэлектрические и литийные батареи при сохранении чистого функционирования.

Ключевые особенности
  • Конструкция без масла с высокой емкостью:Скорость насоса 3000 м3/ч при нулевом риске загрязнения нефтью
  • Система с двумя двигателями:11+7,5 кВт постоянные магнитные синхронные двигатели для максимальной эффективности
  • Усовершенствованный ротор когтей:Высокая устойчивость к пыли и длительный срок службы в суровых условиях
  • Толерантность к пыли и парам:Нечувствительны к частицам и водяным парам в процессовых газах
  • Компактная интеграция:922 * 516 * 988 мм с 770 кг прочной конструкции
  • Всеобъемлющая защитаПолная система безопасности и контроля с адаптивным управлением
  • Работа с низким уровнем шума:≤ 70 dB ((A) для комфортной рабочей среды
  • Многослойная уплотнение:Печать для губ + печать лабиринта + очистка азота для гарантированного вакуума без масла
  • Умная связь:Дистанционный мониторинг и управление I/O и RS485 (протокол Modbus)
Технические спецификации
Модель GRH3001
Скорость перекачки 3000 м3/ч
Окончательное давление ≤ 0,5 Pa
Мощность двигателя 11 + 7,5 кВт
Напряжение 380 В (3 фазы)
Соединение входа ISO 160
Подключение розетки КФ40
Уровень шума ≤ 70 дБ ((А)
Вес 770 кг
Размеры (L*W*H) 922 * 516 * 988 мм
Давление охлаждающей воды 00,6 МПа
Поток охлаждающей воды 11 л/мин
Напряжение N2 00,6 МПа
Поток очистки N2 43/97/123 л/мин
Операционная температура 5 ̊40°C; ≤ 90% RH
Заявления
  • Полупроводники:Эч, имплантация ионов, СВД (ALD, LPCVD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD)
  • Фотоэлектрическая:Рост кристаллов, процессы производства солнечных элементов
  • Литийная батарея:Процессы вакуумной сушки ячеек, наполнения электролитами, обезгазирования