BAOSI VACUUM водоохлаждаемый масляный молекулярный вакуумный насос
ТЕХНИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
|
Модель |
|
DFFY 400/4500PM |
|
|
Входной фланец |
- |
LF400 |
|
|
Выходной фланец |
- |
KF40 |
|
|
Скорость откачки |
л/с |
N2:4500 |
|
|
Коэффициент сжатия N2 |
- |
1×108 |
|
|
Предельное давление |
Па |
5×10-6 |
|
|
Скорость вращения |
об/мин |
21000 |
|
|
Время выхода на режим |
мин |
<18 |
|
|
Масло |
мл |
200 |
|
|
Скорость форвакуумного насоса |
л/с |
30 |
|
|
Температура охлаждающей воды |
℃ |
≤25 |
|
|
Расход охлаждающей воды |
л/с |
1 |
|
|
Мощность нагревателя |
Вт |
≤1200 |
|
|
Напряжение нагревателя |
В |
220 |
|
|
Направление установки |
- |
любое |
|
|
Вес |
кг |
85 |
|
Внешний чертеж:
![]()
Кривая откачки:
![]()
Требования к условиям установки:
1. Напряженность радиального и осевого магнитного поля на поверхности корпуса насоса не должна превышать 3 мТл (30 Гс).
2. Молекулярный насос устойчив к интенсивности излучения 105 рад.
3. Температура окружающей среды: 5-40℃
4. Относительная влажность: ≤85%
5. Напряжение: 220±22В, Частота: 50±1Гц
6. Высота над уровнем моря: ≤3000 м
Применения:
Масляные турбомолекулярные насосы широко используются в этих ключевых отраслях:
➢ Полупроводники и микроэлектроника
➢ Вакуумное напыление (PVD/CVD)
➢ Научные исследования и лабораторный анализ
➢ Вакуумная термообработка и металлургия
➢ Оптоэлектроника и лазерное производство
➢ Литиевые батареи и обработка новых энергетических материалов
➢ Аналитическое приборостроение
➢ Аэрокосмическая и авиационная вакуумная проверка